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Published:1975
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[J]. 1975, (1).
DOI:
[J]. 1975, (1). DOI:
我国自行设计的DMD-450型光学多层镀膜机
已经在北京仪器厂试制成功
并于1974年成批生产。DMD-450型光学多层镀膜机
除了具备一般高真空镀膜机所有的热蒸发源、离子轰击、工件烘烤和旋转等装置外
还带有远聚焦式电子枪和双光路膜厚控制仪。电子枪可以蒸镀各种高熔点的金属和氧化物
由于它避免了蒸镀材料被坩埚污染等问题
从而为制备高纯度和优良光学性能、机械性能的优质薄膜提供了条件。光学膜厚控制仪采用
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