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Published:1976
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[J]. 1976, (4): 24-27.
DOI:
[J]. 1976, (4): 24-27. DOI:
一、前言制作薄膜的时候
在蒸镀过程中监控膜厚是很重要的。直到现在已不断发展和利用了各种各样的方法。这些方法分为电学方法
机械方法和光学方法。测定石英振荡器振荡频率的变化
测定薄膜的电阻等等属于电学方法;用微量天平测定附着在基板上的粒子质量属于机械方法;用肉眼观察干涉颜色、测定反射率或者透过率、测定偏振光以及干
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