激光平面干涉仪是测定平面的平直度、局部误差及平行平面平行度的仪器。φ100mm激光平面干涉仪是国营长江光学仪器厂在长期实践中试制成功的

使用该仪器可以测量接近平面的非平面度和大曲率半径球面的曲率。