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Published:1978
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[J]. 1978, (3): 24-25.
DOI:
[J]. 1978, (3): 24-25. DOI:
ИТ-172不等臂激光球面干涉仪可用于精密检验大型光学零件的面形质量和光学系统的象差。这些工作都是通过测量由被检零件表面反射的、或由被检系统出射的波面与理想球面波的偏差来实现的。其光学系统如下图所示。
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