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Published:1979
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[J]. 1979, (2): 34-39.
DOI:
[J]. 1979, (2): 34-39. DOI:
光刻复制计量仪器的线性光栅多以金属铬膜做为光栅刻线
该膜具有良好的机械强度和化学稳定性。因此
也较普遍地用作各种分划图案的刻线。铬膜的反射率为55%左右
这种反射性能
对用于一般仪器的分划元件并无有害影响
而对用作自动化测量仪器的分划元件
却是一种极为有害的弊病以金属铬膜制造的
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