两抛光平面间平行差测量是光学行业、也是机械行业中经常遇到的问题

一般用自准测角仪测量

其精度通常在2″～4″左右;如用等厚或等倾干涉法测量

其精度一般也只能达到1″左右

而且对工作环境有较严的要求。本文介绍的激光点光源干涉法乃是根据早已周知的点光源干涉(或称菲涅尔型干涉)原理

利用氦氖激光的良好相干性

简易地实现由被测件(例如平板玻璃)前后两表面反射而产生的两点光源干涉现象

通过测量干涉圆环中心的偏移量

间接求出被测件两表面平行差的测量方