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Published:1980
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[J]. 1980, (2): 18-22.
DOI:
[J]. 1980, (2): 18-22. DOI:
一、引论当蒸发一个单层透明膜的时候
每当蒸发的薄膜厚度达到λ_0/4的整数倍时
在λ_0波长处的透过率T或反射率R就会达到极值
光电监控仪的信息就会出现一个反转点。当多层膜的所有膜层都是λ_0/4型时
都会有此现象。利用光学薄膜的这一性质监控薄膜厚度的方法
人们一般称之为“极值法”。极值法监控可以分为两大类:一类是直接监控
即所有膜层都是直接地在所生产的元件上施加监控;另一类是间接监控
这时的监控是在一系列的比较片上进行。直接监控的好处在于所监控的就是
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