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Published:1980
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[J]. 1980, (4): 2-8.
DOI:
[J]. 1980, (4): 2-8. DOI:
一、引言近十年来
我们在研制和生产ZnS/MgF_2多层膜的过程中体会到
潮湿、油污染、基底清洗、蒸发速率、蒸汽入射角、基底加温和膜料预熔等工艺
都会影响膜层的牢固度。实践表明
在常规的真空蒸发镀膜工艺条件下
增加ZnS/MgF_2膜层对玻璃基底的吸附力
是提高膜层牢固度的关键。在常规的镀膜工艺条件下
主要由于ZnS/MgF_2膜系和玻璃基底之间附着了水分子或油分子
致使膜系对玻璃基底的吸附力减弱
实践证明
只要采取增加薄膜吸附力的工艺措施
如固膜热处理、镀膜过程中的防水、防油等工艺措施
则所制备的ZnS/MgF_2多层膜
其牢固度就有显著改善
并符合使用要求。二、决定薄膜牢固度的主要因素
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