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Published:1980
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[J]. 1980, (6): 8-10.
DOI:
[J]. 1980, (6): 8-10. DOI:
一、引言ZrO_2是一种高熔点陶瓷
在高真空(10~(-5)托)条件下
用电子束蒸发
能方便地成膜。ZrO_2薄膜在0.24~2.2μm范围内有良好的透明性能
它的折射率、机械强度和抗激光损伤阈值都较高。因此
在激光薄膜、紫外薄膜、宽带减反膜等方面
ZrO_2有着广泛的用途。激光薄膜的发展
及“硬膜”在光学上的
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