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Published:1982
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[J]. 1982, (2): 2-7.
DOI:
[J]. 1982, (2): 2-7. DOI:
一、引言基于波长调制法膜厚控制系统的原理
对于所监控的膜层
当其光学厚度为监控波长的四分之一
或其整数倍时
控制仪表的指示应为零值。此时极值法仪表的指示应为极值。
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