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Published:1982
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[J]. 1982, (6): 28-31.
DOI:
[J]. 1982, (6): 28-31. DOI:
目前
异质硅膜作为半导体器件材料已受到大家重视
其中以蓝宝石为衬底的气相外延硅片(SOS)已成功地应用于表面场效应集成电路的生产中。外延膜的质量对电路的性能起着关键作用
因此对薄膜质量的检测与控制
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