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Published:1984
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[J]. 1984, (2): 11-13.
DOI:
[J]. 1984, (2): 11-13. DOI:
一、引言光刻是一种精密的表面加工技术
是由照相和化学腐蚀相结合
在集成电路和半导体器件表面修刻的关键工艺。随着电子抗蚀胶的发展
为PbS器件的光敏面成形和电极成形提供了一个精密加工的重要手段。二、感光树脂光刻原理PbS光刻技术中所采用的感光胶称为光致
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