浏览全部资源
扫码关注微信
Published:1985
移动端阅览
[J]. 1985, (3).
DOI:
[J]. 1985, (3). DOI:
为改变我国现有真空镀膜设备及其控制技术的落后状况
以满足镀制复杂膜系、发展光学薄膜技术
西北光学仪器厂和五八研究所接受了上级下达的对东德B55-3-3旧镀膜机进行技术改造的任务。这项任务包括主机部分的改造、多坩埚磁偏转电子枪及镀膜参数控制系统的研制内容。镀膜参数控制系统由磁偏转电子枪扫描控制
SK蒸发速率自动控制、光学膜层厚度自动控制、真空压强自动控制、基片烘烤温度控制、高压灭弧复位自动控制、恒流源光源、光电倍增管高压电源等八部分组成。
0
Views
35
下载量
CSCD
Publicity Resources
Related Articles
Related Author
Related Institution