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1. 1:江苏省南通光学仪器厂
2. 2:江苏省南通光学仪器厂
Published:1986
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[J]. 1986, (4): 18-22.
DOI:
[J]. 1986, (4): 18-22. DOI:
一、前言为了提高半导体产品、计算仪器等性能的稳定性和可靠性
对以硅、玻璃、金属等作原材料的零件在加工后进行表面形状测定检查是不可缺少的环节。形状测定中要有较好的测定精度
一般说来要求不与被测件接触进行测定。满足这一要求的方法以能在亚微米级进行测定的光学手段最佳。牛顿环成形法、双光束干涉法、液浸法等已广泛采用。但是
使用这类方法时
为形成干涉条纹
被测件的装拆十分不
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