由于对大的、非球而的光学零件需求量日益增加

有必要有一台能在加工过程中精确测量光学零件相位误差的干涉仪。为了满足这种需要

我们研制了一台相移红外干涉仪。本文介绍了这台干涉仪头部的设计。