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1:济南医用光学仪器厂
Published:1989
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[J]. 1989, (3).
DOI:
[J]. 1989, (3). DOI:
对于测量非球面反射镜来说
目前虽然有许多方法
由于都不精确
因而不理想。日本东芝公司介绍了一套系统
它是一种比其它许多方法都简易的仪器
在该仪器的设计中
使用了具有相位探测微型组件的探测仪。该系统使用了100×100的光电二极管排列
其光源为1mW氦氖激光器
用一台He-wlett—Packard9836C终端计算机来计算相位。在测量中
仿形非球面的检测利用Zygo干涉
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