本文介绍了一种在生产非四分之一波长多层膜时监控膜厚的方法。除了监控信号的波长在每一层膜改变之外

这种方法类似于传统的极值法

并且不需要变更常用的仪器。文中用一个例子说明这种方法使用的效果。