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1:苏州第四光学仪器厂
Published:1989
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[J]. 1989, (6).
DOI:
[J]. 1989, (6). DOI:
该装置可测量基片与遮板间的光学间隙
以及大规模集成电路的关键尺寸和电路的金属版印刷的控制。在这种用点光源照明(如软X射线)系统中
间隙的变化可用图象放大显示。同样
调整遮板与基片来减小间隙失调。棱镜(或纤维光缆)可把准直He-Ne激光光束的能量聚焦在遮板上且成一点。在棱镜的
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