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Published:1990
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Application of Semicondutive Films on Spacecraft[J]. 1990, (1): 25-27.
DOI:
Application of Semicondutive Films on Spacecraft[J]. 1990, (1): 25-27. DOI:
本文简述了在控制航天器表面充电状态中
若干种半导体薄膜的应用
讨论了应用平面磁控反应溅射方法制备氧化铟和氧化铟锡薄膜的工艺
对其透光性与制备时的气氛条件及膜厚的关系也作了说明。
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