您当前的位置：
首页 >
文章列表页 >
A study on ion beam etching technique
更新时间：2025-09-01

    • A study on ion beam etching technique

    • Issue 5, (1993)

    • Published：1993

    移动端阅览

  • A study on ion beam etching technique[J]. 1993, (5). DOI：

  •  
  •  
icon
试读结束，您可以激活您的VIP账号继续阅读。
去激活 >
icon
试读结束，您可以通过登录账户，到个人中心，购买VIP会员阅读全文。
已是VIP会员？
去登录 >

0

Views

474

下载量

0

CSCD

Alert me when the article has been cited
提交
Tools
Download
Export Citation
Share
Add to favorites
Add to my album

Related Articles

Study on excimer laser-induced electrochemical etching metal
Experimental study on characteristic of Ni in excimer-laser induced electrochemical etching
Design and fabrication of diffractive optical elements for ion beam moving etching technology

Related Author

龙芋宏
史铁林
熊良才
周月豪
柳海鹏
熊良才
史铁林
徐俊中

Related Institution

1:桂林电子科技大学机电工程学院
2:华中科技大学机械科学与工程学院
1:华中科技大学机械与工程学院
2:华中科技大学机械与工程学院
3:华中科技大学机械与工程学院
0