Interference—optical—lever micrometric principle and applied

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Interference—optical—lever micrometric principle and applied

更新时间：2025-09-01

- Interference—optical—lever micrometric principle and applied
- Issue 6, (1993)
- 作者机构：
  
  1. 1:山东纺织工学院
  2. 2:山东纺织工学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：1993
- 稿件说明：
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Interference—optical—lever micrometric principle and applied[J]. 1993, (6).
DOI：

Interference—optical—lever micrometric principle and applied[J]. 1993, (6). DOI：

摘要

本文分析了用激光干涉法

使用光杠杆的测微原理

这种测微原理具有精度高、测量快、实时显示的特点

对检测高乎整度器件有广泛的应用。

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