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1:天津大学精密仪器系
Published:1995
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The Design of Optical System for High Precision CCD Automatic Size Control[J]. 1995, (5).
DOI:
The Design of Optical System for High Precision CCD Automatic Size Control[J]. 1995, (5). DOI:
本文介绍了测量精度为±0.003mm的CCD尺寸自动检测系统的工作原理。详细地讨论了光学系统的设计和远心物镜的结构。并且进行了光学计算和像差校正。给出了像差曲线和实测结果。该仪器具有自动检测精度高、快速和性能可靠等优点。已在工业生产中得到了很好地应用。
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