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1:中科院上海光机所
Published:1996
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[J]. 1996, (3).
DOI:
[J]. 1996, (3). DOI:
浅谈美国ZYGO公司印象徐德衍(中科院上海光机所,上海201800)1995年3月下旬,笔者有幸在美国ZYGO公司作短期访问,耳闻目睹,印象颇深,简介如下。一、概况美国ZYGO公司创建于1970年3月25日,总部座落于美国东北部的康涅狄格州(Conn...
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