Defects inspection of optical,surface by recognizing laser diffraction patterns

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更新时间：2025-09-01

- Defects inspection of optical,surface by recognizing laser diffraction patterns
- Issue 4, Pages: 4-6(1996)
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器系
  2. 2:长春光学精密机械学院,北京,100084
  3. 3,长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：1996
- 稿件说明：
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Defects inspection of optical,surface by recognizing laser diffraction patterns[J]. 1996, (4): 4-6.
DOI：

Defects inspection of optical,surface by recognizing laser diffraction patterns[J]. 1996, (4): 4-6. DOI：

本文提出了一种光学零件表面疵病检验方法。通过识别表面疵病的激光衍射图样

进行疵病种类和尺寸的自动检验。采用自旋光线扫描

显著的提高了擦痕的检验信噪比。研制出了实验装置

获得了较好的实验结果。

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