Reaserch on the testing dividing error by Polygon mirror

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更新时间：2025-09-01

- Reaserch on the testing dividing error by Polygon mirror
- Issue 1, (1997)
- 作者机构：
  
  1. 1:浙江大学ＣＡＤ＆ＣＧ国家重点实验室
  2. 2:浙江大学现代光学仪器重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：1997
- 稿件说明：
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Reaserch on the testing dividing error by Polygon mirror[J]. 1997, (1).
DOI：

Reaserch on the testing dividing error by Polygon mirror[J]. 1997, (1). DOI：

采用多面体和光电平行光管测试圆刻机分度误差，比较了１２、３６、７２面体的测试特点，从数据分析中可找到一些造成误差的因素

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