Research on signal processing system of heterodyne interferometer instrument for measuring surface roughness with high accuracy

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Research on signal processing system of heterodyne interferometer instrument for measuring surface roughness with high accuracy

更新时间：2025-09-01

- Research on signal processing system of heterodyne interferometer instrument for measuring surface roughness with high accuracy
- Issue 5, (1997)
- 作者机构：
  
  1:清华大学精仪系
- 作者简介：
- 基金信息：
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  CLC：
- Published：1997
- 稿件说明：
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Research on signal processing system of heterodyne interferometer instrument for measuring surface roughness with high accuracy[J]. 1997, (5).
DOI：

Research on signal processing system of heterodyne interferometer instrument for measuring surface roughness with high accuracy[J]. 1997, (5). DOI：

摘要

针对用于磨床加工的光外差表面粗糙度在线干涉测量仪，文中介绍了整机的信号处理系统，着重讨论了两项关键技术。即宽动态范围测量信号的自动控制和高精度动态相位测量，系统的测量精度达２．６°（相当于３．２ｎｍ），允许测量中最大多普勒频移±２０ｋＨｚ（对应高度的变化率±８．７５×１０－３ｍ／ｓ），完全满足磨床加工中表面粗糙度在线测量的要求。现场测试证实了这一点，这对于精加工、超精加工表面粗糙度的在线质量控制、提高加工精度等非常重要。

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