New image processing method for phase plate diffraction image

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New image processing method for phase plate diffraction image

更新时间：2025-09-01

- New image processing method for phase plate diffraction image
- Issue 4, (1998)
- 作者机构：
  
  1. 1:北京理工大学光电工程系
  2. 2:清华大学精仪系，精密测试技术与仪器国家重点实验室
  3. 3:长城计量测试技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：1998
- 稿件说明：
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New image processing method for phase plate diffraction image[J]. 1998, (4).
DOI：

New image processing method for phase plate diffraction image[J]. 1998, (4). DOI：

摘要

本文介绍了在半导体激光光纤和位相板相结合的准直情况下，利用ＣＣＤ探测器测量大尺寸形位误差的原理，并针对位相板衍射图像的特点，提出了一种处理此类衍射图样的图像处理新方法——投影法。同在时间上采用的多次平均的方法相比较，投影法相当于采用了空间上的平均，消除了ＣＣＤ表面保护玻璃形成的干涉条纹的影响，对空气扰动也起到了很好的抑制作用。并且使二维图像处理变为一维计算，大大提高了计算速度

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