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1:中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
Published:1998
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Study and application of diffractive microlens array[J]. 1998, (3).
DOI:
Study and application of diffractive microlens array[J]. 1998, (3). DOI:
本文研究了衍射微透镜列阵的设计与制作工艺方法,在此基础上研制出一系列衍射微透镜列阵,衍射效率均大于85%,在深紫外、可见及红外波前传感器中得到了成功应用。
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