Ion beam assisted deposition of infrared wideband antireflection coating on micro  optical components used in low temperature

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Ion beam assisted deposition of infrared wideband antireflection coating on micro optical components used in low temperature

更新时间：2025-09-01

- Ion beam assisted deposition of infrared wideband antireflection coating on micro optical components used in low temperature
- Issue 3, (1998)
- 作者机构：
  
  1:中国科学院光电技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：1998
- 稿件说明：
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Ion beam assisted deposition of infrared wideband antireflection coating on micro optical components used in low temperature[J]. 1998, (3).
DOI：

Ion beam assisted deposition of infrared wideband antireflection coating on micro optical components used in low temperature[J]. 1998, (3). DOI：

简要叙述了锗基片微光学元件红外宽带减反膜的设计与制作。着重介绍了离子束辅助淀积制备该膜系的过程，给出了用该方法制作８～１２μｍ波段的减反膜的测试曲线，它具有峰值透过率高，在设计波长范围内的平均透过率大于９７％以上，膜层附着好，可以切割和擦洗，可以在室温和１００Ｋ低温下反复循环使用。

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