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1:清华大学
Published:1998
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A quasi continuous coding method to enhance DOE's diffraction effenciency[J]. 1998, (5).
DOI:
A quasi continuous coding method to enhance DOE's diffraction effenciency[J]. 1998, (5). DOI:
基于标量衍射理论,二元光学器件的衍射效率,微结构误差对衍射效率的影响,提出了一种准连续编码方法,并给出了加工非2n台阶所需掩模板的具体形式。在一定的加工条件和工艺水平下,采用这种编码方法,可以不增加加工成本和工序,仅通过新颖的掩模板设计方法充分利用现有加工条件和设备,使二元光学器件的衍射效率得到很大程度的提高。从而不仅能使一般混合系统的效率得到提高,更能充分发挥混合光学系统的成像能力。此编码方法的采用有利于推进二元光学器件的实用化。
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