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1:清华大学精仪系
Published:1998
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A method of measuring precisely two dimension position with linear array CCD[J]. 1998, (5).
DOI:
A method of measuring precisely two dimension position with linear array CCD[J]. 1998, (5). DOI:
介绍了一种使用CCD测量位置的方法。与其它CCD位置测量系统不同,通过设计一个特殊的光学系统,实现了使用两个线阵型CCD进行高精度二维位置坐标测量。文中对该光学系统进行了误差分析,证实该方法具有很高的测量精度。该二维位置测量方法具有一些突出的优点:系统响应速度快,可以对动态目标进行测量;测量精度高;制造成本低。上述特点使它在工业制造领域内有着广阔的应用前景。
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