Hybrid processing method of heterodyne interferometer signal  for nanometrology

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Hybrid processing method of heterodyne interferometer signal for nanometrology

更新时间：2025-09-01

- Hybrid processing method of heterodyne interferometer signal for nanometrology
- Issue 1, (1999)
- 作者机构：
  
  1:清华大学精密仪器与机械学系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：1999
- 稿件说明：
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Hybrid processing method of heterodyne interferometer signal for nanometrology[J]. 1999, (1).
DOI：

Hybrid processing method of heterodyne interferometer signal for nanometrology[J]. 1999, (1). DOI：

摘要

通过对外差干涉信号同时进行相位检测和锁相倍频计数，可得到存在一定冗余度的一组测量结果，经过一定的逻辑混合；可实观测量分辨率优于０．１ｎｍ，测量范围不受λ／２周期限制，从而克服了以往单一采用相位测量法测量范围限于一个周期和锁相倍频计数法分辨率不易提高的难题。给出了在实际纳米测量干涉仪采用这种外差信号处理方法的测量结果。

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