Design and manufacture of continuous phase diffractive optical  element to realize beam transform

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Design and manufacture of continuous phase diffractive optical element to realize beam transform

更新时间：2025-09-01

- Design and manufacture of continuous phase diffractive optical element to realize beam transform
- Issue 6, Pages: 74-76(1999)
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
  2. 2:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
  3. 3:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
  4. 4:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
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- Published：1999
- 稿件说明：
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Design and manufacture of continuous phase diffractive optical element to realize beam transform[J]. 1999, (6): 74-76.
DOI：

Design and manufacture of continuous phase diffractive optical element to realize beam transform[J]. 1999, (6): 74-76. DOI：

摘要

本文利用基于模拟退火法和爬山法相结合的混合优化算法，实现光束变换的连续位相衍射光学器件的设计。通过灰阶掩膜板及离子刻蚀工艺，研制了 Φ１００ｍｍ的连续位相衍射光学器件。通过多级衰减片及ＣＣＤ实现了焦斑光强分布测量。测量结果表明：边缘陡峭、旁瓣小、中心主瓣具有一定均匀性，且没有中心零级锐脉冲的焦斑光强分布

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