Study of nanocrystalline SnO<sub>2</sub> transparent conducting film

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Study of nanocrystalline SnO₂ transparent conducting film

更新时间：2025-09-01

- Study of nanocrystalline SnO₂ transparent conducting film
- Issue 1, Pages: 22-23(2001)
- 作者机构：
  
  1. 1:北京理工大学电子工程系,北京,100081
  2. 2:北京理工大学光电工程系,北京,100081
  3. 3:北京理工大学电子工程系,北京,100081
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2001
- 稿件说明：
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Study of nanocrystalline SnO₂ transparent conducting film[J]. 2001, (1): 22-23.
DOI：

Study of nanocrystalline SnO₂ transparent conducting film[J]. 2001, (1): 22-23. DOI：

摘要

阐述了金属氧化物透明导电薄膜研究的发展情况及其应用前景。介绍了采用磁控溅射技术

使用混合气体Ar和O2

在衬底温度为 15 0～ 40 0℃的耐热玻璃基片上制备纳米晶SnO2 :Sb透明导电薄膜

通过测定X射线衍射谱

表明薄膜择优取向为 [110 ]和 [2 11]方向。测量了SnO2 :Sb薄膜的导电特性随衬底温度及氧分压的变化。光学特性测量结果表明薄膜具有较高的透过率。

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