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1. 1:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
2. 2:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
3. 3:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
4. 4:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
Published:2001
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Unidirectional expanding optical path design for nonlinear source in line-structured laser sensor[J]. 2001, (1): 24-26.
DOI:
Unidirectional expanding optical path design for nonlinear source in line-structured laser sensor[J]. 2001, (1): 24-26. DOI:
为了减小线结构光传感器光源对测量精度的影响
设计了一种集整形和能量校正为一体的非线性光源单向扩展光路。应用反高斯分布的液体吸收滤光镜
实现了高斯光束强度的径向均匀化。并应用矩形光阑和两个相互垂直放置的柱面镜
对准直后的激光束进行整形
分别在不同的方向进行拉伸和压缩
得到了形状理想的线光源。此技术已成功应用于BGA芯片管脚的三维尺寸测量中。
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