The research of CCD applied in wideband monitoring of   optical film thickness

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The research of CCD applied in wideband monitoring of optical film thickness

更新时间：2025-09-01

- The research of CCD applied in wideband monitoring of optical film thickness
- Issue 2, Pages: 143-145(2001)
- 作者机构：
  
  1. 1:国防科学技术大学理学院光电工程系,湖南,长沙,410073
  2. 2:国防科学技术大学理学院光电工程系,湖南,长沙,410073
  3. 3:国防科学技术大学理学院光电工程系,湖南,长沙,410073
  4. 4:国防科学技术大学理学院光电工程系,湖南,长沙,410073
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
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- Published：2001
- 稿件说明：
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The research of CCD applied in wideband monitoring of optical film thickness[J]. 2001, (2): 143-145.
DOI：

The research of CCD applied in wideband monitoring of optical film thickness[J]. 2001, (2): 143-145. DOI：

摘要

讨论了 CCD的主要特性及对宽带膜厚监控系统的影响

介绍了典型的 CCD数据采集系统。建立了一套基于 CCD的宽带膜厚监控系统

并对该系统进行了光谱标定及光谱补偿

给出了提高信噪比及减小非线性影响的处理方法。

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