Large visual field matrix CCD instrument for micro-measurement

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Large visual field matrix CCD instrument for micro-measurement

更新时间：2025-09-01

- Large visual field matrix CCD instrument for micro-measurement
- Issue 3, Pages: 266-267(2001)
- 作者机构：
  
  1. 1:南昌大学物理系,南昌,330029
  2. 2:南昌大学物理系,南昌,330029
  3. 3:南昌大学物理系,南昌,330029
  4. 4:南昌大学物理系,南昌,330029
- 作者简介：
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  CLC：
- Published：2001
- 稿件说明：
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Large visual field matrix CCD instrument for micro-measurement[J]. 2001, (3): 266-267.
DOI：

Large visual field matrix CCD instrument for micro-measurement[J]. 2001, (3): 266-267. DOI：

摘要

充分利用 CCD技术和计算机的图像处理能力

在满足大多工业精度要求的前提下

研制成了一种低成本、大视场的 CCD显微测量仪

用于光学元件的检测。当线视场为 10 mm时

该系统的横向分辨率可达 12 .9μm

精度可达1μm

纵向分辨率可达λ/8

足以满足一般工业检测的需要

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