Optical focus detection system with nanometer resolution   using differential confocal microscope

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Optical focus detection system with nanometer resolution using differential confocal microscope

更新时间：2025-09-01

- Optical focus detection system with nanometer resolution using differential confocal microscope
- Issue 3, Pages: 232-234(2001)
- 作者机构：
  
  1. 1:哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,哈尔滨,150001
  2. 2:哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,哈尔滨,150001
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2001
- 稿件说明：
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Optical focus detection system with nanometer resolution using differential confocal microscope[J]. 2001, (3): 232-234.
DOI：

Optical focus detection system with nanometer resolution using differential confocal microscope[J]. 2001, (3): 232-234. DOI：

摘要

为解决纳米级大范围的非接触测量问题

提出了基于差动式共焦显微技术的光聚焦探测系统。介绍了系统的工作原理和结构装置

对系统中的关键技术进行了优化设计

通过对共焦光路的差动设计

可以有效地抑制光源的噪声和漂移对测量结果的影响。初步实验结果表明

该系统的轴向分辨率可达 2 nm

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