Design and accuracy analysis of the alignment interferometer

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Design and accuracy analysis of the alignment interferometer

更新时间：2025-09-01

- Design and accuracy analysis of the alignment interferometer
- Issue 4, Pages: 328-330(2001)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022
  2. 2:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022
- 作者简介：
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- Published：2001
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Design and accuracy analysis of the alignment interferometer[J]. 2001, (4): 328-330.
DOI：

Design and accuracy analysis of the alignment interferometer[J]. 2001, (4): 328-330. DOI：

摘要

为了满足大口径光学系统各分立元件的高精度对心要求

设计制造了总装调对心干涉仪。介绍了仪器的工作原理及关键结构工艺

并对影响偏心测量的因素进行了讨论。仪器的测量精度同被测镜的曲率半径及两测量点的间距有关。当被测镜的曲率半径小于 1.5 m、两测量点的间距为 5 0 0 mm时

其偏心测量精度小于 1μm

仪器的测量偏心角度的最小格值达 0 .12

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