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1. 1:华南师范大学物理系,广州,510631
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4. 4:华南师范大学物理系,广州,510631
Published:2001
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The multifunctional ellipsometer[J]. 2001, (5): 432-434.
DOI:
The multifunctional ellipsometer[J]. 2001, (5): 432-434. DOI:
研究成功一台变入射角反射式消光法多功能智能椭偏测厚仪。实验表明 :仪器的测厚准确度为± 0 1nm ;椭偏参数Ψ和Δ的测量重复性精度分别为± 0 1°和± 0 3°
适用于纳米级薄膜厚度和折射率的测量
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