Super-precision positioning stage with nanometer resolution

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Super-precision positioning stage with nanometer resolution

更新时间：2025-09-01

- Super-precision positioning stage with nanometer resolution
- Issue 6, Pages: 556-557(2001)
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室
  2. 2:清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室
  3. 3:清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室,北京,100084
  4. 4,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2001
- 稿件说明：
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Super-precision positioning stage with nanometer resolution[J]. 2001, (6): 556-557.
DOI：

Super-precision positioning stage with nanometer resolution[J]. 2001, (6): 556-557. DOI：

摘要

柔性铰链精密定位工作台具有直接传动、无摩擦、结构紧凑、重量轻、刚度好及分辨率高等优点。设计了一种具有较大传动比的定位工作台

介绍了其系统结构和工作原理

并对刚度性能作了分析。利用双频激光干涉仪对压电陶瓷驱动下的工作台特性进行了测量。结果表明

该工作台具有纳米级的分辨率和定位精度。

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