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1. 1:浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
2. 2:浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027
3. 3,浙江,杭州,310027
Published:2001
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Digital analysis of static interferogram based on coherent wavefront intensity distribution[J]. 2001, (6): 564-565.
DOI:
Digital analysis of static interferogram based on coherent wavefront intensity distribution[J]. 2001, (6): 564-565. DOI:
提出了基于相干波面光强分布的静态干涉图数字处理的新方法
即在CQG Ⅱ型激光数字波面干涉仪上通过分别微调参考镜和被测镜的倾斜量
在CCD探测器上获得形成静态干涉图的两幅相干波面光强分布图
利用这两幅光强分布图与它们所形成的干涉图
可高精度地完成静态干涉图的数字分析。利用相干原理
给出了实现该方法的基本过程
并编程实现了该数字分析
获得了实验测量结果。通过与相移测量结果相比较
验证该方法对口径为 60mm的平面有望达到的测量精度。
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