Large-area planar microlens for integrated near-field optical head

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更新时间：2025-09-01

- Large-area planar microlens for integrated near-field optical head
- Issue 2, Pages: 176-178(2002)
- 作者机构：
  
  1. 1:华中科技大学计算机学院外存储系统国家专业实验室
  2. 2:华中科技大学计算机学院外存储系统国家专业实验室
  3. 3:华中科技大学计算机学院外存储系统国家专业实验室,湖北,武汉,430074
  4. 4,湖北,武汉,430074
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2002
- 稿件说明：
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Large-area planar microlens for integrated near-field optical head[J]. 2002, (2): 176-178.
DOI：

Large-area planar microlens for integrated near-field optical head[J]. 2002, (2): 176-178. DOI：

讨论了采用常规的光刻热熔法及灰度掩模技术制作非梯度折射率型平面折射和平面衍射微透镜的情况。定性地分析了在不同的工艺条件下可能得到的平面端面微光学器件的种类和形貌特征。给出了在石英衬底表面通过光刻热熔工艺和氢离子束蚀刻所得到的球面及圆弧轮廓特征的凹形掩模的SEM照片

并对用于近场集成光学头的平面微透镜和半导体激光器的集成结构作了初步分析。利用这一技术所制成的平面折射微透镜可以很方便地与半导体光源等器件匹配耦合及集成固联

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