High precision automatic measurement of microporous   parameter using the orthogonal linear array CCD

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High precision automatic measurement of microporous parameter using the orthogonal linear array CCD

更新时间：2025-09-01

- High precision automatic measurement of microporous parameter using the orthogonal linear array CCD
- Issue 3, Pages: 275-277(2002)
- 作者机构：
  
  1. 1:海军航空工程学院青岛分院
  2. 2:海军航空工程学院青岛分院,青岛,266041
  3. 3,青岛,266041
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2002
- 稿件说明：
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High precision automatic measurement of microporous parameter using the orthogonal linear array CCD[J]. 2002, (3): 275-277.
DOI：

High precision automatic measurement of microporous parameter using the orthogonal linear array CCD[J]. 2002, (3): 275-277. DOI：

摘要

提出了一种使用线阵CCD自动测量小圆孔参数的方法。该方法充分利用了线阵CCD分辨率高的特点

适当的光学设计使两个线阵CCD正交

通过测量小圆孔的夫琅和费衍射条纹

实现了小圆孔半径的一维参数高精度自动测量和圆度误差的二维参数定性自动测量。该方法具有一定的实用价值及应用前景。

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