High precision roll angle interferometer

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High precision roll angle interferometer

更新时间：2025-09-01

- High precision roll angle interferometer
- Issue 4, Pages: 332-333(2002)
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器与机械学系精密计量与仪器国家重点实验室
  2. 2:清华大学精密仪器与机械学系精密计量与仪器国家重点实验室
  3. 3:清华大学精密仪器与机械学系精密计量与仪器国家重点实验室
  4. 4:清华大学精密仪器与机械学系精密计量与仪器国家重点实验室,北京,100084
- 作者简介：
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- Published：2002
- 稿件说明：
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High precision roll angle interferometer[J]. 2002, (4): 332-333.
DOI：

High precision roll angle interferometer[J]. 2002, (4): 332-333. DOI：

摘要

提出了一种基于横向塞曼激光器的新的滚转角测量系统。该系统在已有技术的基础上

将测量放大倍率又扩展了 4倍

从而大大提高了滚转角的测量精度。系统以横向塞曼激光器出射的正交线偏振光作为测量光

首先经 1 /4波片将线偏振光变成微椭圆偏振光 (即进行微椭偏化 )

然后测量光通过作为传感器的 1 / 2波片

由直角反射镜将光路折回

使测量光再次通过作为传感器的 1 / 2波片。由于直角反射镜提供了合理的坐标变换

所以使得测量光在两次通过1 / 2波片时

偏振方向的改变被叠加了

相当于被测量的滚转角放大了 4倍。最后测量光经检偏器合成

再用光电探测器接收。由测量光的相位变化可以求出工作台的滚转角变化。在整周期内

测量光的相位变化与滚转角成非线性关系

但在特定的角度上会出现线性很好的滚转角测量灵敏度倍增区。采用这种方法

测量放大倍率可以达到 2 0 0倍

能够实现高精度的滚转角测量。使用分辨率为 0 0 0 3°的相位计

滚转角的测量分辨率可达到 0 1″。

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