Fabrication and characterization of a new optical fiber probe for atomic force microscopy

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Fabrication and characterization of a new optical fiber probe for atomic force microscopy

更新时间：2025-09-01

- Fabrication and characterization of a new optical fiber probe for atomic force microscopy
- Issue 5, Pages: 398-400(2002)
- 作者机构：
  
  1. 1:同济大学固体物理研究所
  2. 2:同济大学固体物理研究所
  3. 3:同济大学固体物理研究所,上海,200092
  4. 4,上海,200092
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2002
- 稿件说明：
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Fabrication and characterization of a new optical fiber probe for atomic force microscopy[J]. 2002, (5): 398-400.
DOI：

Fabrication and characterization of a new optical fiber probe for atomic force microscopy[J]. 2002, (5): 398-400. DOI：

摘要

采用熔拉 -腐蚀复合方法

将普通单模石英光纤制成直锥形光纤探针。利用自制工具将探针打弯

制成悬臂式光纤探针

在AFM上取得了较理想的测试结果。将自制光纤探针和商用硅材料探针获得的两种扫描图像进行了对比

分析了悬臂式光纤探针的特点

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