Mechanical parameters' measurement and evaluation of XY piezoflexure nanopositioner

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更新时间：2025-09-01

- Mechanical parameters' measurement and evaluation of XY piezoflexure nanopositioner
- Issue 5, Pages: 447-448(2002)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国航空长城计量测试技术研究所
  2. 2:中国航空长城计量测试技术研究所
  3. 3:中国航空长城计量测试技术研究所,北京,100095
  4. 4,北京,100095
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2002
- 稿件说明：
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Mechanical parameters' measurement and evaluation of XY piezoflexure nanopositioner[J]. 2002, (5): 447-448.
DOI：

Mechanical parameters' measurement and evaluation of XY piezoflexure nanopositioner[J]. 2002, (5): 447-448. DOI：

为了分析纳米级两维微位移工作台引入的测量误差

介绍了其机械结构及工作原理

进行了定位准确度实验和运动方向的直线度 (偏摆 )实验

实验结果表明

工作台的定位准确度较高

运动方向的直线度在工作台工作范围内无需修正

即可满足高精度测量的需要

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