Nanometer surface measurements based on phase-shifting interference microscopy

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Nanometer surface measurements based on phase-shifting interference microscopy

更新时间：2025-09-01

- Nanometer surface measurements based on phase-shifting interference microscopy
- Issue 1, Pages: 2-4(2003)
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室
  2. 2:清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室
  3. 3:清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室
  4. 4:清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室
- 作者简介：
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  CLC：
- Published：2003
- 稿件说明：
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Nanometer surface measurements based on phase-shifting interference microscopy[J]. 2003, (1): 2-4.
DOI：

Nanometer surface measurements based on phase-shifting interference microscopy[J]. 2003, (1): 2-4. DOI：

摘要

在微分干涉相衬显微镜中加入偏振相移装置

实现了对干涉光强的调制

达到了相移的目的

构造了具有纳米级分辨率的相移干涉显微测量系统。编制了一套测试软件及多组数据处理软件

将测量系统的各组成部分用软件进行了连接。分析并解决了测量过程中的技术难题

对纳米表面微观形貌进行了高精度实时自动测量。该测量系统能够准确地重构出纳米表面微观形貌

并给出了定量测量数据。

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