Optic testing methods and instruments for MEMS

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更新时间：2025-09-01

- Optic testing methods and instruments for MEMS
- Issue 2, Pages: 197-200(2003)
- 作者机构：
  
  1. 1:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
  2. 2:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
  3. 3:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
  4. 4:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2003
- 稿件说明：
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Optic testing methods and instruments for MEMS[J]. 2003, (2): 197-200.
DOI：

Optic testing methods and instruments for MEMS[J]. 2003, (2): 197-200. DOI：

随着微电子机械系统(MEMS

MicroElectroMechanicalSystem)研究的深入和产业化的需求

其检测在MEMS中的重要性越来越大。光学检测方法以其非接触、快速、高精度等优点得到了大量的应用。分析和介绍了国内外采用光学检测法进行MEMS检测的方法及相关检测仪器在测量中的应用。尤其是Nanosurf测量仪器

它是一种独立的三维非接触测量系统

扫描共焦显微镜是基于白光共焦技术

强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快

而且精度很高

并且提供了多种不同的表面分析方法。

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