Design of reflection multilayered polarizers and analyzers in the soft X-ray range

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Design of reflection multilayered polarizers and analyzers in the soft X-ray range

更新时间：2025-09-01

- Design of reflection multilayered polarizers and analyzers in the soft X-ray range
- Issue 3, Pages: 277-280(2003)
- 作者机构：
  
  1. 1:同济大学物理系精密光学工程技术研究所
  2. 2:同济大学物理系精密光学工程技术研究所
  3. 3:同济大学物理系精密光学工程技术研究所
  4. 4:同济大学物理系精密光学工程技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  CLC：
- Published：2003
- 稿件说明：
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Design of reflection multilayered polarizers and analyzers in the soft X-ray range[J]. 2003, (3): 277-280.
DOI：

Design of reflection multilayered polarizers and analyzers in the soft X-ray range[J]. 2003, (3): 277-280. DOI：

摘要

叙述了软X射线波段反射式多层膜起偏器和检偏器的设计原则和设计方法

计算了不同波段软X射线反射式多层膜起偏器和检偏器的性能

讨论了多层膜制作过程中

表界面误差(表面粗糙度和扩散)对起偏器和检偏器性能的影响

探讨了光谱分辨率对偏振元件测试过程的影响

这些设计、计算和分析为制作实用软X射线多层膜偏振光学元件提供了理论基础。

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